(1)药液的循环过滤：由磁力齿轮泵、循环溢流槽、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤，保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。由于磁力齿轮泵长时间运行会引起药液一定温升，因此不适用于温控精度较高的工艺槽中。常应用于太阳能电池片酸洗、制绒、清洗等设备中。

　　(2)热水注入与喷淋：经过化学液处理后的晶片，有时需要热DI水喷淋冲洗。一般先将DI水注入至预热槽，通过加热器加热到所需供液温度后，再通过磁力齿轮泵加压输送至喷淋装置，实现对晶片的清洗。由于磁力齿轮泵轴承滑动摩擦会产生颗粒，不适用于颗粒要求高的清洗。

　　目前经常使用的磁力齿轮泵泵体材料主要有：PP、PVDF、ETFE三种。根据不同的溶液选择相适应的泵体材料、轴承材料以及密封圈材料。PP、PVDF、ETFE三种塑料泵体材质的磁力齿轮泵最高使用温度为80℃，特殊型号最高使用温度为100℃(台湾ASSOMAAMXI系列)。介质的黏度对泵的性能影响很大，当黏度增加时，泵的扬程曲线下降，最佳工况的扬程和流量均随之下降，而功率则随之上升，因而效率降低。对于黏度较大的介质，较小扬程的磁力齿轮泵可能无法工作。用于喷淋冲洗的磁力齿轮泵，在满足流量要求的前提下，选用扬程在20m以上的能达到较佳的清洗效果。